ཀོཝར་ཊི་ཝ་ཕར་གཞི་རྟེན།
ཀོཝར་ཊི་ཝེ་ཕར་གྱི་གཞི་རྟེན་འདི་ ངོ་མ་རང་ མཐོ་དྲགས་ཅན་གྱི་ཀོ་ཝར་ཊི་ (SiO2) ལས་བཟོ་མི་ ཝེ་ཕར་ཚུ་ཨིནམ་དང་ འདི་ཡང་ གློག་རྒྱུན་ཕྱེད་ཀ་དང་ འོད་གློག་རིག་ དེ་ལས་ མའི་ཀོ་རོ་-གློག་འཕྲུལ་ལམ་ལུགས་ (MEMS) དང་ འོད་ཀྱི་ཅ་ཆས་ དེ་ལས་ གཞན་མི་ས་ཁོངས་ཚུ་ནང་ ཁྱབ་ཆེཝ་སྦེ་ལག་ལེན་འཐབ་ཨིན།
འགྲེལ་བཤད
དངོས་པོའི་ཁྱད་ཆོས།
- མཐོ་བའི་དྭངས་གཙང་:སྤྱིར་བཏང་ལུ་ བཅོས་མའི་ཀོཝར་ཊི་ལས་ བཟོ་ཡོདཔ་ཨིན། ༼དཔེར་ན་ ཕུའུ་ཟི་སི་ལི་ཀ༽ འདི་ཡང་ གནམ་མེད་ས་མེད་ གཙང་སྦྲ་མཐོ་དྲགས་སྦེ་ཡོདཔ་ཨིན།
- ཚ་དྲོད་གཏན་འཇགས།ཚ་དྲོད་རྒྱ་སྐྱེད་ཀྱི་འཇལ་ཚད་དམའ་བ་ (≈0.55×10−6/℃) དང་མཐོ་བའི་-དྲོད་ཚད་འགོག་ཤུགས་ (མཉེན་ཚད་ ~1600℃), མཐོ་བའི་-དྲོད་ཚད་བྱ་རིམ་ལུ་འོས་འབབ་ཡོདཔ་ཨིན།
- འོད་ཀྱི་ལཱ་འགན།བརྒྱུད་སྤེལ་གྱི་ཁྱབ་ཚད་རྒྱ་ཆེཝ་ (UV ལས་ IR) དང་ ཁྱད་འཕགས་ཅན་གྱི་ UV བརྒྱུད་སྤེལ་གྱི་ པར་རིས་ཁ་རས་དང་ མིག་ཤེལ་ལ་སོགས་པ་ཚུ་གི་དོན་ལུ་ འོས་འབབ་ཅན་ཅིག་ཨིན།
- རྫས་ཁམས་གཡོ་འགུལ་མེད།སྐྱུར་རྫས་དང་ སྐྱུར་རྫས་ལུ་འགོག་ཐབས་འབད་ཚུགས་མི་ (hydrofluoric acid མ་གཏོགས་) རློན་པའི་བརྐོ་ནིའི་བྱ་རིམ་ལུ་འོས་འབབ་ཡོདཔ་ཨིན།
- གློག་ཤུགས་འགོག་ཐབས།High resistivity (>1016 Ω·cm), གཞི་རྟེན་ཡང་ན་ མཐོ་བའི་-བསྐྱར་འབྱུང་ཐབས་འཕྲུལ་ཚུ་གི་དོན་ལུ་ འོས་འབབ་ཅན་ཅིག་ཨིན།
ལག་ལེན་ཚུ།
གློག་རྒྱུན་ཕྱེད་ཀ་བཟོ་སྐྲུན།
- པར་རིས་གདོང་ཁེབས་གཞི་རྟེན།
- ཨི་ཡུ་ཝི་ལི་ཐོ་གྷ་ར་ཕི་ཆ་ཤས།
- ཝེ་ཕར་ལས་སྣོན་འབག་མི།
འོད་རིག་དང་འོད་གློག་རིག་པ།
- འོད་ཀྱི་རླབས་ལམ་སྟོན་གྱི་གཞི་རྟེན་ཚུ།
- གློག་འོད་ཌའི་ཨོ་ཌི་སྒྲིག་སྦྱོར།
- ཚད་རྡུལ་རྩིས་རྒྱག་ཆ་ཤས།
དམིགས་བསལ་ལག་ལེན།
- MEMS བརྡ་རྟགས་གཞི་རྟེན།
- བར་སྣང་རྒྱང་ཤེལ་གྱི་འོད་ཤེལ།
- ནུས་ཤུགས་མཐོ་བའི་-གློག་འོད་མ་ལག
བཟོ་བསྐྲུན་གྱི་བརྒྱུད་རིམ།
- རྒྱུ་ཆ་སྔོན་པོའི་མཉམ་སྦྱོར།རླངསམ་བཙུགས་ཏེ་ བཟོ་བསྐྲུན་འབདཝ་ཨིན། ༼དཔེར་ན་ SiCl4 oxidation༽ ཡང་ན་ རང་བཞིན་གྱི་ཀོཝར་ཊིསི་ གཙང་སྦྲ་བཟོ་ནི།
- བཞུ་བ་དང་གྲུབ་ཚུལ།མཐོ་བའི་-དྲོད་ཚད་བཞུ་ཞིནམ་ལས་ དེ་གི་ཤུལ་ལས་ བསིལ་དྲོད་བཏང་ནི་དང་ ཡང་ན་ ཐད་ཀར་དུ་ རྡོ་རིང་ཚུ་ནང་ འབྲི་ནི།
- བཏོག་ནི་:རྡོ་རྗེ་ཕ་ལམ་གྱི་ཐགསཔ་ ཡང་ན་ གློག་འོད་ཀྱི་ བཏོག་ཐངས་ལག་ལེན་འཐབ་སྟེ་ ཤོག་ཀུ་སྲབ་ཤོག་ཤོ་ནང་ བཏོག་བཏོགཔ་ཨིན།
- གྱིབ་མ་དང་འཕྱགས་བདའ་ནི།རྫས་ཁམས་འཕྲུལ་རིག་གི་འཕྱགས་བདར་ (CMP) གིས་ ནེ་ནོ་མི་ཀྲར་-གནས་ཚད་ཀྱི་ འཇམ་ཤུགས་ཐོབ་ཨིན།
- གཙང་སྦྲ་དང་ཞིབ་བཤེར།རྡུལ་ཕྲན་དང་ལྕགས་རིགས་བཙོག་པ་ བཏོན་བཏང་ཞིནམ་ལས་ དེ་གི་ཤུལ་ལས་ སྐྱོན་དང་ ཚད་གཞི་བརྟག་དཔྱད་འབད་ནི།
རྒྱུ༌ནོར
|
དངོས་གཟུགས་ཀྱི་ཁྱད་ཆོས། |
གནས་གོང་ཚུ། |
|
གཙང་མ། |
＞99.99% |
|
སྟུག༌ཚད |
༢.༢g/cm3 |
|
དྭངས་གསལ་ཅན། |
＞90% |
|
Mohs སྲ་ཁྲ། |
5.5--6.5 |
|
བཟོ་རྣམ་འགྱུར་བའི་ས་ཚིགས། |
༡༢༨༠ ཁུག་ཚད། |
|
མཉེན་པའི་ས་ཚིགས། |
༡༧༥༠ ཌི་གྷི་རི། |
|
འཚིག་པའི་ས་ཁོངས། |
༡༢༥༠ ཌི་གྷི་རི། |
|
དམིགས་བསལ་དྲོད་ཚད་ (20 - 350 ཁུག་ཚད་ ) |
༦༧༠J/kg. གཙུག༌ལག༌ཤེས༌ཚད༌ |
|
ཚ་དྲོད་འདྲེན་ནུས་ (20 ཌི་གྷི་རི་) |
༡.༤W/m. གཙུག༌ལག༌ཤེས༌ཚད༌ |
|
དྲོད་ཚད་འཁྱེར་ནུས་ (w/mk,1000 degree) |
1.0-1.2 |
|
འོད་འཕྲོའི་ཟུར་ཐོ། |
1.4585 |
|
ཚ་དྲོད་རྒྱ་བསྐྱེད་ཀྱི་འཇལ་ཚད། |
5.510 -7cm/cm. གཙུག༌ལག༌ཤེས༌ཚད༌ |
|
ཚ་བ་-ལས་ཀ་བྱེད་བཞིན་པའི་དྲོད་ཚད། |
༡༧༥༠--༢༠༥༠ ཚད་གཞི། |
|
དུས་ཡུན་ཐུང་ངུ - ཞབས་ཞུའི་དྲོད་ཚད། |
༡༤༥༠ ཚད་གཞི། |
|
ཡུན་རིང་ - ཞབས་ཞུའི་དྲོད་ཚད། |
1100 ཁུག་ཚད། |
|
རྫས་འགྱུར་གྱི་ཁྱད་ཆོས། |
གནས་གོང་ཚུ། |
|
སྐྱུར་འགོག་ཅན། |
སྐྱུར་རྫས་ཤུགས་ཅན།(HFམ་གཏོགས་)། སྐྱུར་རྫས་ཤུགས་ཅན། རང་བཞིན་གྱི་ཐབས་ཤེས། |
|
དྲོད་ཚད་མཐོ་བ། ཟག་འགོག་ཅན། |
དྲག་ཤོས |
|
ལྕགས་རིགས་མི་གཙང་བའི་ནང་དོན། |
<༥ པི་པི་ཨེམ། |
|
གློག་གི་ཁྱད་ཆོས། |
གནས་གོང་ཚུ། |
|
འགོག་ཤུགས། |
7107Ω.cm |
|
འགོག་སྲུང་ནུས་ཤུགས། |
༢༥༠~༤༠༠Kv/cm |
|
གློག་ཤུགས་གཏན་འཇགས། |
3.7~3.9 |
|
གློག་རྡུལ་འཐེན་ཤུགས་འཇལ་ཚད། |
＜410-4 |
|
གློག་ཤུགས་གྱོང་གུན་ཚད་གཞི། |
＜110-4 |
|
འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་ཁྱད་ཆོས། |
གནས་གོང་ཚུ། |
|
གནོན་ཤུགས་ཀྱི་ནུས་ཤུགས། |
༡༡༠༠ཨེམ་པི་ཨེ། |
|
གུག་པའི་སྟོབས་ཤུགས། |
༦༧ཨེམ་པི་ཨེ། |
|
འཐེན་ཤུགས་ཀྱི་ནུས་ཤུགས། |
༤༨ཨེམ་པི་ཨེ། |
|
པོ་སོན་གྱི་ཆ་སྙོམས། |
0.14~0.17 |
|
ཡོང་གི་མོ་ཌུ་ལུས། |
༧༢༠༠༠ཨེམ་པི་ཨེ། |
|
ཤེར་མོ་ཌུ་ལུས། |
༣༡༠༠༠ཨེམ་པི་ཨེ། |
FAQ
དྲི་བ་༡ པ། ཀོ་ཝར་ཊི་ཝ་ཕར་གྱི་གཞི་རྟེན་གྱི་ཚད་གཞི་མཐོ་ཤོས་ག་དེམ་ཅིག་ཡོདཔ་སྨོ?
ཀ: ཚད་ལྡན་ཐོན་སྐྱེད་ ༣༠༠mm བར་གྱི་དབྱིབས་དང་ ༤༥༠mm གི་དཔེ་ཚད་ཚུ་ ཞིབ་འཚོལ་དང་འཕེལ་རྒྱས་ཀྱི་དོན་ལུ་འཐོབ་ཚུགས།
Q2: ཁྱོད་ཀྱིས་ སྲོལ་སྒྲིག་འབད་ཡོད་པའི་མཐུག་ཚད་གསལ་སྡུད་ཚུ་བྱིན་ཚུགས་ག?
A: ཨིན་ - ང་བཅས་ཀྱིས་ཐོན་སྐྱེད་འབད་ཚུགས།
- ཝེཇཌི་ཝེ་ཕར་ཚུ་ (གློག་འོད་ལག་ལེན་གྱི་དོན་ལུ་)
- གཏན་ཚིགས་ཅན་གྱི་དབྱིབས་བཟོ་བཀོད།
- མེ་ས་-གཞི་བཀོད་འབད་ཡོད་པའི་ཕྱི་ངོས།
དྲི་བ་༣ པ་ གཙང་སྦྲའི་སྒྲིག་གཞི་ག་ཅི་བཟུམ་ཅིག་ གྲོས་འཆར་བཀོདཔ་སྨོ?
ཀ: ཚད་ལྡན་ཨར་སི་ཨེ་གཙང་མའི་བྱ་རིམ།
1. རང་བཞིན་གྱི་ཕྱིར་འཐེན་ (H2SO4:H2O2)
2. གློག་རྡུལ་གཙང་བཟོ། (HCl:H2O2)
3. HF-མཐའ་མའི་ཆུ་ལུ་དགའ་བའི་ཁ་ཐོག་ལུ།
ཚ་རིམ།: ཀོཝར་ཊི་ཝ་ཕར་གཞི་རྟེན།, རྒྱ་ནག་ཀོཝར་ཊི་ཝ་ཕར་གཞི་རྟེན།, བཀྲམ་སྤེལ་བ།, བཟོ་གྲྭ།
འདྲི་དཔྱད་གཏང་།
ཁྱོད་ཀྱིས་ཡང་དགའ།
