བཟོ་སྐྲུན་བྱ་རིམ།

འཕྲུལ་རིག་བྱ་རིམ།
ཡར་རྒྱས་ཀྱི་རྒྱུ་ཆ་དང་རླངས་རྫས་ཀྱི་འབྱུང་ཁུངས་ཚུ་བྱིན་དགོ། འཕེལ་རྒྱས་ཀྱི་རྒྱུ་ཆ་ དཔེར་ན་ SiO བཟུམ་གྱི་ འཕེལ་རྒྱས་ཀྱི་རྒྱུ་ཆ་ཚུ་ གཟུགས་བརྙན་ལ་ལུ་ཅིག་ནང་ བྱིན་ཞིནམ་ལས་ རླངས་རྫས་ཀྱི་འབྱུང་ཁུངས་ SiH ₄, N ₂ O, དང་ N ₂ རླངས་རྫས་མཉམ་སྡེབ་ཚུ་ བྱིནམ་ཨིན།
འོད་མདངས་འགོག་པའི་བང་རིམ་བཟོ་ནི། འཕེལ་རྒྱས་ཀྱི་རྒྱུ་ཆ་འདི་ གོ་རིམ་བཞིན་དུ་ འོད་མདངས་འགོག་པའི་བང་རིམ་གཉིས་ རིམ་གྱི་བང་རིམ་གུ་བཀོད་དགོ། བང་རིམ་གྱི་བང་རིམ་ནང་ལུ་ SiO བང་རིམ་དང་ Si བང་རིམ་ དེ་ལས་ གློག་བརྙན་ཡར་འཕར་གྱི་ཕྱོགས་བདའ་སྟེ་ གོ་རིམ་ནང་ འཐེན་ཤུགས་བང་རིམ་ཚུ་ཚུདཔ་ཨིན། དཔེ་འབད་བ་ཅིན་ གཉིས་-བང་རིམ་གྱི་ འོད་མདངས་བང་རིམ་ ༼དང་པ་ འོད་གསལ་གྱི་བང་རིམ་དང་ འོད་འཕྲོའི་བང་རིམ་གཉིས་པ་༽ འདི་ epitaxial ཡར་རྒྱས་བྱ་རིམ་གྱིས་ གྲུབ་ཡོདཔ་ཨིན། དམིགས་བསལ་རིམ་པ་གཤམ་གསལ་ལྟར་ནི།
གཞི་རྟེན་བཟོ་སྦྱོར་: གཞི་རྟེན་བང་རིམ་གུ་ ཕྱེད་ཀ་གློག་རྒྱུན་གཙང་སྦྲ་འབད་ནིའི་བྱ་རིམ་གྱི་ཤུལ་ལས་ སི་ཝི་ཌི་ བཤུབ་བཏང་འཕྲུལ་ཆས་གུ་ བང་རིམ་བང་རིམ་འདི་བཙུགས།
འཕྲུལ་ཆས་ཚད་གཞི་སྒྲིག་སྟངས་ཚུ་: སི་ཝི་ཌི་བཙུགས་ནིའི་འཕྲུལ་ཆས་ཚུ་གི་ གློག་རྫས་དྲོད་ཚད་མཐོ་ཤོས་འདི་ དྲོད་ཚད་༢༠༠-༣༠༠ དང་ དམའ་བའི་གློག་རྫས་དྲོད་ཚད་ ༢༥༠-༣༥༠ ལུ་ཚད་འཛིན་འབད།
འོད་མདངས་བང་རིམ་དང་པའི་ ཡར་འཕེལ་: སི་ཝི་ཌི་ བཀོད་སྒྲིག་འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་ བཀོད་སྒྲིག་འགོ་དང་པ་འདི་ བདེ་སྒྲིག་འབད་དགོ། དེ་ཡང་ སི་ཨེཆ་ ₄ དང་ N ₂ O དེ་ལས་ N ₂ གི་ འབོར་ཚད་དང་ རླངས་རླུང་གི་གནོན་ཤུགས་འགོ་དང་པ་དང་ སི་ཝི་ཌི་བཙུགས་འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་ ཨར་ཨེཕ་ ནུས་ཤུགས་འགོ་དང་པ་འདི་ གློག་བརྙན་བཙུགས་པའི་དུས་ཚོད་ མཉམ་སྡེབ་འབད་མི་ ཡང་ན་ མཉམ་སྡེབ་འབད་མི་ གང་རུང་ཚུ་ བང་རིམ་འགོ་དང་པ་འདི་ ༡༠-༢༠༠nm དང་ སྟུག་ཚད་ཀྱི་ཁྱབ་ཚད་དང་གཅིག་ཁར་ ཡར་འཕར་གཏང་ནིའི་དོན་ལུ་ བང་རིམ་འགོ་དང་པ་འདི་ འཛུགས་སྐྱོང་འབད་ནི་གི་དོན་ལུ་ཨིན། འགྱུར་ལྡོག་ཟུར་ཐོ་ཁྱབ་ཚད་ ༡.༤-༡.༧༡.
འོད་མདངས་བང་རིམ་གཉིས་པ་ཡར་འཕེལ་: སི་ཝི་ཌི་བཀོད་སྒྲིག་ཅ་ཆས་གཉིས་པ་དེ་ བདེ་སྒྲིག་འབད་དགོ། དེ་ཡང་ སི་ཨེཆ་ ₄ དང་ ཨེན་ ₂ ཨོ་ དེ་ལས་ ཨེན་ ₂ དང་ རླངས་རྫས་ཀྱི་གནོན་ཤུགས་གཉིས་པ་ དེ་ལས་ སི་ཝི་ཌི་བཙུགས་འཕྲུལ་ཆས་ཀྱི་ ཨར་ཨེཕ་ ནུས་ཤུགས་གཉིས་པ་ གློག་བརྙན་བཙུགས་པའི་དུས་ཚོད་ དང་ ཡང་ན་ མཉམ་སྡེབ་འབད་མི་ མཉམ་སྡེབ་གང་རུང་ཅིག་ མཉམ་སྡེབ་འབད་དེ་ འོད་མདངས་བང་རིམ་དང་པ་ གཉིས་པ་ལུ་ འཕར་ཚད་ཀྱི་ ཁྱབ་ཚད་ཀྱི་ ཁྱབ་ཚད་སྦོམ་ཡོདཔ་ཨིན། 10-200nm དང་ འགྱུར་ལྡོག་ཟུར་ཐོ་ ༡.༤-༡.༧༡ གི་ཁྱབ་ཚད།

ཐབས་རིག་གི་ལེགས་ཆ།
འདི་བཟུམ་སྦེ་ འཕེལ་རྒྱས་ཀྱི་རྒྱུ་ཆ་ཚུ་ལག་ལེན་འཐབ་སྟེ་ བསམ་ཞིབ་ཀྱི་ནུས་པ་འདི་ དངོས་པོ་མ་འདྲཝ་ཚུ་གི་ བསམ་ཞིབ་ཀྱི་གློག་བརྙན་དང་ རླངས་རྫས་ཀྱི་ཐོན་ཁུངས་མར་ཕབ་འབད་ནི་ དེ་ལས་ གྲ་སྒྲིག་འབད་ནིའི་བྱ་རིམ་གྱི་དཀའ་ངལ་དང་ ལཱ་འབད་སའི་ས་ཁོངས་ཚུ་ ཡར་སེང་འབད་དེ་ བཟོ་བའི་སྐབས་ལུ་ རླངས་རྫས་ཀྱི་ཐོན་ཁུངས་ཚུ་ བསག་བཞག་མི་དང་ ལག་ལེན་འཐབ་མི་ལུ་བརྟེན་ཏེ་ ཡར་སེང་འབད་ཚུགས།

hybrid SiO ₂/TiO ₂ འོད་མདངས་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་གྱི་བཟོ་སྐྲུན་ལས་རིམ།

འཕྲུལ་རིག་བྱ་རིམ།
གཞི་རྟེན་གྱི་གྲ་སྒྲིག་འབད་ནི་: ཤེལ་དང་རང་བཞིན་གྱི་ཤེལ་དང་ པོ་ལི་མའིཌ་གློག་བརྙན་ དེ་ལས་ དྭངས་གསལ་གྱི་གཞི་རྟེན་ཚུ་ གདམ་ཁ་རྐྱབ་སྟེ་ གཙང་ཏོག་ཏོ་དང་ཐལཝ་{༡}} རིན་མེད་ཐོག་ལས་ བཙོག་པ་བཏོན་པའི་སྨན་བཅོས་འབད་དགོ། དགོས་མཁོ་ཡོད་པ་ཅིན་ རྐྱང་པ་{3}}side ཡང་ན་ divious-sided polshed འདི་ འོད་ཀྱི་བརྒྱུད་སྤྲོད་ཀྱི་ ཇོན་ཐངས་ཡར་དྲག་གཏང་ནིའི་དོན་ལུ་ འབད་ཚུགས།
གློག་བརྙན་གྱི་སྔོན་འགྲོའི་སྒྲིག་བཀོད་: tetraethoxysilane (TEOS) དང་ tetrabutyl titanate (TBT) ཚུ་ NH ₄ OH ཡོད་པའི་ ཨི་ཐ་ནོལ་ལུ་ ཁ་སྐོང་བརྐྱབ་སྟེ་ འགྱུར་ལྡོག་འདི་ ཆུ་ཚོད་༩{༡}} གི་རིང་ལུ་ བསྣར་ཏེ་ཡོདཔ་ད་ འདི་ཡང་ དབུགས་གཏོང་ལེན་གྱི་སོལ་ ཇེལ་ལམ་ལུགས་ཅིག་ཐོབ་ནིའི་དོན་ལུ་ཨིན་མས།
བཀབ་ནི་དང་ བསྣར་ནི། གྲ་སྒྲིག་འབད་ཡོད་པའི་ སོལ་ཇེལ་ལམ་ལུགས་འདི་ དྭངས་གསལ་གྱི་ གཞི་རྟེན་ལུ་ འདྲ་མཉམ་སྦེ་ བཀབ་སྟེ་ བསྒྱིར་ནི་དང་ ཆུ་བླུགས་ནི་ ཕྱགས་བརྡར་ དེ་ལས་ གཞན་མི་འཆར་གཞི་ཚུ་ ལག་ལེན་འཐབ་བཏུབ། བཀབ་པའི་ཤུལ་ལས་ hybrid SiO ₂/TiO ₂ གློག་བརྙན་གྱི་སྔོན་འགྲོ་འདི་ བཅོས་ཐབས་དང་ བད་ཀན་གྱི་སྨན་བཅོས་འབད་ནི་གི་དོན་ལུ་ ཐབ་ནང་བཙུགས་ཏེ་ སྣ་མང་{1}}བང་རིམ་གྱི་བཟོ་བཀོད་ཅིག་བཟོཝ་ཨིན།
སྒོར་སྒོར་གྱི་བཀབ་ཆ་: བཀབ་ནི་དང་ བཅོས་ཐབས་འབད་ནིའི་བྱ་རིམ་འདི་ རེ་འདོད་བསྐྱེད་པའི་ འོད་མདངས་ཀྱི་ནུས་པ་མ་ཐོབ་ཚུན་ཚོད་ བསྐྱར་ལོག་འབད། བཀབ་ནིའི་དུས་ཚོད་དང་གོ་རིམ་སོ་སོ་ཚུ་གིས་ བསམ་ཞིབ་ཀྱི་གློག་བརྙན་ཚུ་གི་ལཱ་ལུ་ ཐོ་ཕོག་འོང་ དེ་ལས་ ཞིབ་འཚོལ་དང་ ལེགས་བཅོས་འབད་དགོཔ་ཨིན།
ཁ་ཐོག་གི་སྨན་བཅོས་: འོད་འཕྲོ་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་གྱི་ཐུབ་ཚད་དང་བརྟན་ཏོག་ཏོ་ཡར་སེང་འབད་ནི་གི་དོན་ལས་ hydrophilic དང་ hydrophobic polymer གི་བང་རིམ་འདི་ འོད་འཕྲོ་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་གྱི་ཁ་ཐོག་ལུ་ བཀབ་ཚུགས།

གློག་རྡུལ་འོད་འཕྲོ་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་གྱི་བཟོ་སྐྲུན་ལས་རིམ།
འཕྲུལ་རིག་བྱ་རིམ།
འོད་དམར་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་འདི་ སི་ལི་ཀོན་ལུ་གཞི་བཞག་སྟེ་ ཕྱོགས་གཉིས་ཆ་རའི་ནང་ བསམ་ཞིབ་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་ཚུ་ བཀབ་སྟེ་ཡོདཔ་ཨིན། གློག་བརྙན་ལམ་ལུགས་ཀྱི་བཟོ་བཀོད་འདི་ གློག་འོད་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་འདི་ གཅིག་གིས་གཅིག་ལུ་ རང་དབང་ཅན་སྦེ་ཡོདཔ་ཨིན། ༼HL༽ ^ S འདི་ནང་ལུ་ H གིས་ Si བང་རིམ་འདི་ ངོ་བཏོནམ་ཨིན། S གིས་ SO བང་རིམ་འདི་ ངོ་བཏོནམ་ཨིནམ་དང་ S གིས་ HL གཞི་རྟེན་བཟོ་བཀོད་ཀྱི་དུས་ཡུན་འདི་ ངོ་བཏོནམ་ཨིནམ་དང་ S གི་གནས་གོང་འདི་ ༣-༦ གི་བར་ན་ལུ་ ཧྲིལ་གྲངས་ཨིན། Si བང་རིམ་འདི་ གཞི་རྟེན་གྱི་ཉེ་འདབས་ལུ་ཡོདཔ་ལས་ SiO བང་རིམ་འདི་ ཁ་ཐོག་ལུ་ཡོདཔ་ཨིན། བཀབ་ནིའི་བྱ་རིམ་འདི་ གློག་བརྙན་གྱི་བང་རིམ་འདི་ གཞི་རྟེན་ལུ་མཉམ་སྦྲགས་འབད་ནི་གི་དོན་ལུ་ ལག་ལེན་འཐབ་དོ་ཡོདཔ་ད་ འདི་གི་དོན་ལུ་ SiO གློག་བརྙན་བང་རིམ་འདི་ ཕྱི་ཁའི་བང་རིམ་སྦེ་ ཁ་ཐོག་མཐོ་དྲགས་ཡོདཔ་ལས་ ཉེན་སྲུང་གི་བང་རིམ་ཁ་སྐོང་དགོཔ་མེདཔ་ཨིན། ད་རུང་ SiO ལུ་ འགྱུར་ལྡོག་ཅན་གྱི་ཟུར་ཐོ་འདི་ དམའ་ཤོས་ཡོདཔ་ལས་ ཁ་ཐོག་ལུ་ འོད་མདངས་མར་ཕབ་འབད་ཚུགསཔ་མ་ཚད་ འོད་དམརཔོ་གི་བརྒྱུད་འཕྲིན་ཡང་ ཧེང་སྐལ་རང་ ཡར་སེང་འགྱོ་དོ་ཡོདཔ་ཨིན།

དྲོད་ཚད་མཐོ་བའི་- དྲོད་ཚད་འགོག་ཐུབ་པའི་ CO ₂ ལེ་ཟར་ འོད་འཕྲོ་འགོག་པའི་གློག་བརྙན་གྱི་བཟོ་སྐྲུན་ལས་རིམ།
འཕྲུལ་རིག ་རིམ།
དངོས་པོའི་སྔོན་འགྲོའི་བཞུ་བའི་སྨན་བཅོས་འདི་ གློག་བརྙན་གྱི་རྒྱུ་ཆ་ནང་ལུ་ བཙོག་པ་བཏོན་བཏང་ནི་གི་དོན་ལུ་ yttrium fluoride དང་ calcium yttrium fluoride དེ་ལས་ ཟངས་ཀྱི་ སེ་ལི་ནའིཌ་གློག་བརྙན་གྱི་རྒྱུ་ཆ་ཚུ་གུ་ལུ་ སྨན་བཅོས་སོ་སོ་སྦེ་འབདཝ་ཨིན།
གློག་བརྙན་གྱི་བང་རིམ་འདི་ yttrium fluoride བང་རིམ་དང་ yttrium calcium fluoride བང་རིམ་ དེ་ལས་ ཟངས་ཀྱི་བང་རིམ་དང་ གཉིས་པ་ yttrium fluoride བང་རིམ་འདི་ ཟངས་ཀྱི་སེ་ལི་ནའིཌ་གི་བང་རིམ་ནང་ལུ་ 3 ± 0.1mm གི་སྦོམ་ཚད་དང་ vacum vacuum vaporation ཚུ་ཡོདཔ་ཨིན། བང་རིམ་རེ་རེའི་ཁྱབ་ཁོངས་ས་ཁོངས་འདི་ གཞི་རྟེན་བང་རིམ་གྱི་ ཁ་ཐོག་གི་རྒྱ་ཁྱོན་ལས་ བརྒྱ་ཆ་༩༥ ལས་ལྷག་སྟེ་ཡོདཔ་ཨིན། བང་རིམ་རེ་རེ་གི་དོན་ལུ་ དངོས་གཟུགས་ཀྱི་སྟུག་ཚད་དགོས་མཁོ་འདི་ གཤམ་གསལ་ལྟར་ཨིན། yterbium དཀར་རྫས་ཀྱི་བང་རིམ་གྱི་གཟུགས་ཀྱི་སྟུག་ཚད་འདི་ ༨༦༠-༨༧༠ ནེ་ནོ་མི་ཀྲར་ཨིན། ཟངས་ཀྱི་ སེ་ལི་ནའིཌ་བང་རིམ་གྱི་གཟུགས་པོའི་མཐུག་ཚད་འདི་ ༢༤༠-༢༥༠ ནེ་ནོ་མི་ཊར་ཨིན། yttrium fluoride བང་རིམ་གཉིས་པའི་གཟུགས་ཀྱི་མཐུག་ཚད་འདི་ ༩༥-༡༠༠ ནེ་ནོ་མི་ཀྲར་ཨིན།
 

ཐབས་རིག་གི་ལེགས་ཆ།
གྲ་སྒྲིག་འབད་ཡོད་པའི་ anti antifiction membrane ལུ་ བཟོ་བཀོད་འཇམ་ཏོང་ཏོ་དང་ མཛེས་སྡུག་ཅན་གྱི་བཟོ་བཀོད་ཡོདཔ་ཨིན། བང་རིམ་བཞི་མཉམ་སྡེབ་འདི་ དྲོད་ཚད་མཐོ་དྲགས་དང་ བརྒྱུད་འཕྲིན་མཐོ་དྲགས་ དེ་ལས་ བརྟན་བརྟན་གྱི་བང་རིམ་ བང་རིམ་གྱི་བང་རིམ་གྱི་བར་ན་ ལྷན་ཐབས་ཀྱི་གནོན་ཤུགས་ དེ་ལས་ བང་རིམ་གྱི་ བརྡལ་བཤིག་མ་འབད་བའི་ ཁྱད་ཆོས་ཚུ་ཡོདཔ་ཨིན། འདི་གིས་ དྲོད་ཤུགས་ཆེ་བའི་གནས་སྟངས་ནང་ ཆ་ཤས་ཚུ་ མུ་མཐུད་དེ་ ལག་ལེན་འཐབ་ཚུགས་ནི་དང་ བང་རིམ་རེ་རེ་ནང་ ལག་ལེན་འཐབ་མི་ རྒྱུ་ཆ་ཚུ་ འོད་རླབས་མེན་པའི་ བཀོལ་སྤྱོད་འབད་མི་དང་ མཐའ་འཁོར་གནས་སྟངས་ལུ་ གནོད་སྐྱོན་མི་འབྱུང་ནི་ཨིན་པས།